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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡(XRM)弗萊貝格--SDCOM小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀

小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)弗萊貝格SDCOM--小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀能夠測(cè)量小至1mm的晶體到或更大的樣品,精度可達(dá)0.01°(視晶體質(zhì)量而定),其主要應(yīng)用omega掃描方法對(duì)樣品進(jìn)行超高速的晶體定位測(cè)量,配置了氣冷式X射線管,操作過(guò)程無(wú)需水冷,適用于科學(xué)研究以及生產(chǎn)質(zhì)量控制。

產(chǎn)品型號(hào):弗萊貝格--SDCOM
更新時(shí)間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:2041

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?技術(shù)特點(diǎn)

 --能夠測(cè)量小至1mm的晶體到或更大的樣品

 --各種樣品架及輸送夾具,用于線鋸、拋光等

 --側(cè)晶方向標(biāo)記選項(xiàng)

 --SDCOM小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀無(wú)水冷卻

 --精可達(dá)0.01°(視晶體質(zhì)量而定)

 --確定單晶的*晶格取向

 --使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測(cè)量

 --氣冷式X射線管,無(wú)需水冷

 --適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

 --手動(dòng)操作(沒(méi)有自動(dòng)化選項(xiàng))

 

晶體的方向是由反射位置決定的

 

?SDCOM可測(cè)材料

 --立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

 --立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 --正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 --六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍(lán)寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 --斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 --可根據(jù)客戶的要求進(jìn)一步選料 

適合多種材料

 

?行業(yè)應(yīng)用
 

平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

 --在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過(guò)程中,晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。

 --為了確定平面或缺口的位置,就需要測(cè)量平面內(nèi)的部件。由于Omega掃描法可以在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識(shí)別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

 --SDCOM小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán),可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,這可以大大簡(jiǎn)化將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的過(guò)程。

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