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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁產(chǎn)品中心三維X射線顯微鏡(XRM)弗萊貝格--XRD-OEM在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀
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德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀),主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量。
XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用,將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中,解決了由于加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業(yè)難題。
?XRD-OEM的特點
--可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)
--緊湊、標準的工業(yè)接口
--獨立定位測量,可測量平面或圓周
--光學等級檢測
--解決了行業(yè)難題:
-如果加工設備和定向測量是分開的,那么就會因為樣品轉(zhuǎn)移
而造成定向誤差
-市場對于準確對齊的晶圓的需求量越來越大
--將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中(研磨或鋸切)
?技術參數(shù)
--可測量材料:硅,碳化硅,砷化鎵及更多
--樣品尺寸:鋼錠直徑450毫米
--冷卻:空氣,低噪音
--可能的用途:在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準
?應用實例
硅錠取向:
--磨削前對平面和缺口位置的檢測
--樣品直徑可達8 ",長度可達40厘米
?XRD-OEM適配普遍的打磨設備
無需移動樣本即可進行定向,可與打磨產(chǎn)線相結合直接進行在線檢測
可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上
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