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在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀
產(chǎn)品簡介

德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀),主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量,其可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用,將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中,解決了由于加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業(yè)難題。

產(chǎn)品型號:弗萊貝格--XRD-OEM
更新時間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2736

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?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀),主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量。

XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用,將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中,解決了由于加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業(yè)難題。

 

?XRD-OEM的特點

 --可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)

 --緊湊、標準的工業(yè)接口

 --獨立定位測量,可測量平面或圓周

 --光學等級檢測

 --解決了行業(yè)難題:

     -如果加工設備和定向測量是分開的,那么就會因為樣品轉(zhuǎn)移

      而造成定向誤差

     -市場對于準確對齊的晶圓的需求量越來越大

 --將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中(研磨或鋸切)

 

 

?技術參數(shù)

 --可測量材料:硅,碳化硅,砷化鎵及更多

 --樣品尺寸:鋼錠直徑450毫米

 --冷卻:空氣,低噪音

 --可能的用途:在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準

 

?應用實例

 硅錠取向:

 --磨削前對平面和缺口位置的檢測

 --樣品直徑可達8 ",長度可達40厘米

 

?XRD-OEM適配普遍的打磨設備

 無需移動樣本即可進行定向,可與打磨產(chǎn)線相結合直接進行在線檢測

 

可以直接集成到基礎機圓磨床72/856

 

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